洁净室等级标准
洁净室需要将一定范围内空气中的微粒子、有害空气、等之污染物排除,并将无尘室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,通常根据实验室空气中的颗粒数量,对洁净室进行分类。
洁净室的分类根据国家不同有不同的等级规定,目前**虽有自订规格,但普遍还是采用美国联邦标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】。
其中需要注意的,A、B、C、D级别的划分是参照ISO标准(欧盟采纳的方式),其本身包含了静态要求和动态要求。旧版GMP采纳的是美国的洁净间划分方式,旧版的洁净间划分仅有静态的概念,不要求动态。
在美国的联邦标准209(A至D)中,在一立方英尺的空气中测量等于或大于0.5mm的颗粒数,并且该计数用于对洁净室进行分类。该标准的209E版本也接受该度量标准。联邦标准209E在国内使用。较新的标准是国际标准组织的TC 209。
这两个标准都根据实验室空气中的颗粒数量对洁净室进行了分类。洁净室分类标准FS 209E和ISO 14644-1要求进行特定的颗粒计数测量和计算,以对洁净室或洁净区域的清洁度水平进行分类。
在无尘车间进行装修施工时要注意的事项:
无尘车间装修建筑装饰工程必须与各专业工种间制定严格的施工程序,一般依次为:留洞打底,各专业安装,内门窗安装、修补洞口及周边,基层打底,饰面抹灰和罩面板工程,嵌缝处理,油漆刷浆工程和裱糊工程。
在无尘车间装修建筑施工过程中,必须随时清扫灰尘,对隐蔽空间(如吊顶和夹墙内部等),还应做好清扫记录。
塑料板材和卷材面层铺贴前应预先按规格大小,厚薄分类,板材或卷材与地面之间应满涂粘接剂,表面擀平,不得漏涂或残存空气。
密封胶嵌固前,应将基槽内的杂质,油污剔除干净,并保持表面干燥。
无尘车间临时设置的设备入口不用时应封闭,防止尘土杂物进入。
施工现场应保证良好的通风和照明,对于改建工程,应查明和切断原有电源及易燃、易爆和有毒气体管线后方可施工,对工艺生产过程中使用的腐蚀性液体应有安全防护措施。
半导体、芯片、集成电路生产的无尘车间要求
国家大力支持发展半导体,半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于大规模和**大规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品质量的一个**问题。
芯片从上世纪50年代发展至今,大致经历了三大发展阶段:在美国发明起源-在日本加速发展-在韩国与中国闽台成熟分化。前两次半导体产业转移原因分别是:日本在PCDRAM市场获得美国认可;韩国成为PCDRAM新的主要生产者和中国闽台在晶圆代工、芯片封测领域成为代工**。如今中国已成为**半导体的市场,在强大的需求和有力的政策推动下,芯片行业正迎来*三次产业转移,向大陆转移的趋势已不可阻挡。集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中控制粒子的尺寸有较高的要求,而且也需进一步控制粒子数;同时,对于**大规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。
各行业对洁净度等级的要求
1级净化车间:主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
百级净化车间:可用于医药工业的无菌制造工艺等。
千级净化车间:主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
万级净化车间:主要用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级洁净室在医工业中也很常用。
十万级净化车间:十万级洁净室用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用。